CR400 CRP Series Dry

Dr.Vakuum CR400

Cryopump — 400 mm flange

Photo

เกี่ยวกับ

400 mm ISO-K flange. ~3,500 L/s for water, ~2,200 L/s for nitrogen. Sized for large-format coating chambers, semiconductor PVD tools, and space-environment simulation chambers.

ข้อมูลทางเทคนิค

การต่อทางเข้า: ISO-K 400
ความเร็วสูบ (H₂O): ~ 3,500 L/s
ความเร็วสูบ (N₂): ~ 2,200 L/s
ความเร็วสูบ (Ar): ~ 1,800 L/s
ความดันสุดท้าย: < 1×10⁻⁸ mbar
อุณหภูมิ cold head: 10–20 K
น้ำหนักรวม: ~ 110 kg