Loadlock-Evakuierung in einer Halbleiter-Backend-Fertigung
Loadlock-Abpumpzeit: 6,0 s → 4,2 s. Ölwechselintervall: 800 h → 2.800 h. Reinraum-Partikelzahlen unverändert.
Immer die richtige Wahl — industrielle Vakuum- und Gebläsetechnik seit 1995 Dr.Vakuum
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